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物理结构分析

物理结构分析

  • 分类:解决方案
  • 发布时间:2022-05-18 17:58:56
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概要:
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  半导体芯片虽然个头很小,但是内部结构非常复杂,尤其是其最核心的微型单元成千上万个晶体管。

Analysis Technique

分析方法

Lateral Resolution

  平面分辨率

STEM 扫描透射电镜

0.19nm 

 TEM 透射电镜

0.24nm 

 SEM SE 扫描电镜 二次电子

0.6nm  

TEM-EDX 透镜能谱

1nm

SEM BSE 扫描电镜 背散射

1.8nm  

FIB 聚焦离子束

4nm

Auger 俄歇电子

8nm 

激光显微

>250nm 

 Optical Microscopy 光学显微

 >300nm  

SEM-EDX 扫描电镜 能谱

>300nm  

3D Nano-CT 高分辨断层扫描

0.9um 

X-Ray X射线成像

1um 

 Stereo Microscopy 体式显微

>1um

 

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